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半導體加工超精密晶圓卡盤

來源: 發(fā)布時間:2024-05-16

微泰,精湛的超精密加工技術,可達到微米級加工,充分考慮材料的特殊性加工超平整零件,平整度公差小于 3 um零件精密加工的關鍵在于確保高水平的精度和質量,并確保與既定尺寸的偏差小實現(xiàn)。 精密加工的半導體晶圓真空卡盤的平面度公差不超過 3 μm,并通過三維接觸測量儀進行全數(shù)檢查和系統(tǒng)質量的管材,為全球客戶提供精密加工。 鋁(AL5052、AL6061、AL7075)、不銹鋼(SUS304、SUS316、SUS630)。 銅、鎢、鈦和蒙奈爾合金(MONEL)。 處理聚醚醚酮 (PEEK)、聚甲醛 (POM) 和聚酰亞胺 (PI) 等材料,需要精密加工。使用高難度材料,如無氧高導銅 (OFHC)制造半導體精密零件。超精密飛秒激光技術是一種高精度、非接觸、非熱效應的加工方法,適用于各種材料的微細加工。半導體加工超精密晶圓卡盤

超精密

現(xiàn)有物理切削技術,接觸式加工,磨損基石,需要切削油,加工后需要清洗納秒激光加工有以下問題:細微裂紋,熔化-再凝固產生熱變形,表面物性發(fā)生變化,周圍會產生多個顆粒飛秒激光打磨:改善現(xiàn)有打磨技術的問題-熱影響極小,可以局部加工-不需要切削油和化學藥劑-細微裂紋極少化表面物理特性變化少,在不改變物性值的情況下,提高表面粗糙度。高功率激光打磨:測量高度→獲取高度數(shù)據(jù)→轉換成面數(shù)據(jù)→去除表面凸起中等功率,利用中等功率激光可以刻畫低功率時具有,清洗效果;拋光效果(也有去除微孔邊緣毛刺的效果)拋光后,[AOI(自動光學檢查)]對孔不良進行檢測(手動或自動)(光學相機掃描儀)材料的邊緣測量和修正材料位置誤差。加工部件激光光學系統(tǒng)位移傳感器、光學相機、防撞傳感器滑門及外蓋實用程序系統(tǒng)控制系統(tǒng)該激光加工設備環(huán)保,有利于工藝自動化,本公司通過各工序的聯(lián)動及生產自動化,推進智能工廠化,成為超精密激光加工系統(tǒng)領域全球企業(yè),上海安宇泰環(huán)保科技有限公司日本技術超精密真空板由于精度高的緣故,超精密加工常應用在光學元件。也會應用在機械工業(yè)。

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微泰,采用先進的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術,進行半導體產業(yè)所需的各種形狀的微孔加工,MIN可做到5微米的微孔,公差可做到±2微米,孔距可做到0.3微米。還可以進行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔,飛秒激光利用相對較短的激光脈沖,熱損傷很小,加工對象沒有物性變形層,表面平整,實現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC 層壓的真空板相同區(qū)域內可加工不規(guī)則位置的孔;可以混合加工不規(guī)則尺寸,孔間距可達 0.3 μm ;可加工多達 800,000 個孔,用于MLCC印刷吸膜板,MLCC疊層吸膜板,吸附板。

微泰,利用自主自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產各種超精密零部件。有三星電子,LG電子等諸多企業(yè)的業(yè)績。攝像頭模組的拾取工具,治具。特別是超薄,超鋒利的鏡頭切割器,光滑無毛邊地切割塑料鏡片的澆口,占韓國塑料鏡頭切割刀片90%以上的市場,精密要求極高的攝像機傳感器與IC、PCB進行熱壓接合用治具,也占韓國90%以上市場。有問題請聯(lián)系  上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰究偞砑す獬芗庸さ膶ο蠓秶軐?,包括幾乎所有的金屬材料和非金屬材料,適于材料的打孔、焊接、表面改性等。

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我公司利用自主技術,飛秒激光螺旋鉆孔技術,可以在各種金屬,陶瓷,藍寶石,超硬材料,PCD上加工各種形狀的微孔,MIN可加工5微米的孔,MIN孔距可做到0.3微米,而且可以對孔壁進行拋光,使之孔壁光滑。飛秒激光不同于納秒激光,微孔平整,熱變形和物理變形很小。這是納秒激光加工件,這是飛秒激光加工件。我公司飛秒激光螺旋鉆孔技術為電子,光學,機械,化學,醫(yī)療等不同行業(yè)的高精度微孔需求,提供高精度加工服務。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,利用韓國先進技術,飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術),飛秒激光拋光技術,生產各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機,日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績,是韓國三星主要供應商。主要生產:1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,MLCC掩模板 陣列遮罩板 。4,測包機分度盤。5,各種MLCC設備精密零件。MLCC吸膜板,用于在 MLCC 疊層機和印刷機上,通過抽真空移動 0.8 微米的生陶瓷片。MLCC吸膜板與MLCC切割刀片在韓國,技術和質量方面有壓倒性優(yōu)勢,有問題請聯(lián)系  上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰境芗庸さ木缺葌鹘y(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數(shù)量級。日本技術超精密真空板

超快激光采用的超短脈沖激光是利用場效應進行加工,不僅可以達到更高的精度,并且不會對材料表面造成損傷。半導體加工超精密晶圓卡盤

微泰提供半導體精密元件精密制造和供應機械設備(包括半導體生產設備、生物電池、新能源電池、航空航天和羅機器人)所需的所有精密部件和模型。 根據(jù)客戶的需求,提出改進功能的想法和設計,以及生產、質量控制和檢測系統(tǒng)的高效集成基礎設施、材料和部件。 通過與國內外設備制造商的合作,我們能夠以高速度、高質量和有競爭力的優(yōu)化成本提供客戶滿意的產品。尺寸:MCT 5 ~ 6.5 英寸。 CNC 6 ~ 10 英寸, 旋銑  材料:AL5052, AL6061, AL7075, SUS304, SUS316,SUS630, Copper, Tungsten, Titanium, Monel, POM,PEEK。半導體精密元件特性:保持嚴格的公差,因此零件的制造非常精確,并需要高加工能力,以便與指定公差的偏差小。 在整個加工過程中進行嚴格的質量控制,識別和糾正零件的規(guī)格和偏差,從而制造出高質量的精密零件。半導體加工超精密晶圓卡盤

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